大部分能制取超純水的制水機基本都能制取純水，因為制取超純水需要使用純水進行再次提純制取超純水，所以很多國外的超純水機都需要使用一臺純水機進行制取可使用的水，雖然也可以直接使用自來水，但是對設備配件的損耗太大，需要經常更換耗材，成本就非常高了。

RO純水即反滲透的水---亦即市售純凈水.其原理為在原水一端施加大于滲透壓力，而產生反滲透作用，此時溶解與非溶解無機鹽、重金屬、有機物菌體顆粒等無法透過半透膜，使水分子及較小分子之鹽類滲過半透膜，流向凈水的一邊，而污染成分濃縮于原水。原水逐漸濃縮，施加的壓力必須逐漸提高，直到無限大.而實際操作時是將濃縮水（廢水）排掉，繼續(xù)供入原水，以保持恒定之壓力.簡單來說反滲透的功能原理，就像是一支篩子，水被逼迫過一張像是玻璃紙的薄膜，其中只有極小的有機顆粒（粒子）才能通過，而污染不潔的水則由廢水口排出。

EDI連續(xù)電除鹽技術是利用混合離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被去除的過程。通過這樣的技術更新可以代替?zhèn)鹘y的離子交換裝置，生產出電阻率高達18.2MΩ.cm的超純水。

從兩者的工藝來看，RO純水中所含的金屬離子要遠超過EDI超純水中所含的金屬離子物質，所以假若在相同的實驗使用兩者不同的水作為實驗劑，那么這些金屬離子就會對整體的實驗產生干擾情況，假若該實驗并不在乎金屬離子的干擾，那么EDI超純水與RO純水則可以同時使用，換而言之EDI超純水可以直接作為RO純水的替代品，但是RO純水卻無法作為EDI超純水的替代品。